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流酸濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-5。由圖2-5可見,開始時,隨著流酸濃度的增大,金屬的失重逐漸減小。這是由于流酸的少量加入導致了拋光液黏度的增大,阻礙了溶解的Cu2+配離子從金屬表面向本體溶液的擴散,因而減緩了銅的溶解。當流酸的濃度在38%以上時,金屬的失重又迅速增大。這可歸結為高含量的流酸對金屬銅較強的腐蝕作用。流酸濃度為38%~42%時,銅片具有比較大的光亮度。流酸濃度過低,拋光液黏度低,不易形成黏液膜,無光亮作用,流酸濃度過高,金屬表面易過腐蝕,造成光亮度下降。
硝酸濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-6。由圖2-6可見,既起腐蝕又起光亮作用。隨著硝酸濃度的增大,金屬的溶解量逐漸增大。濃度低時,銅的溶解少,拋光液中Cu2+濃度低,不易在金屬表面附近形成黏液膜,拋光效果差。硝酸濃度高時,金屬表面則易過于腐蝕,光亮度下降。當硝酸濃度在4%~8 %之間時,銅表面的反射率比較高,光亮度比較好。
拋光液中水的含量對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-7。由圖2-7可見,水的含量同樣影響光亮作用,其含量在47%~50%時,拋光效果比較好。水的含量過多,拋光液黏度下降,黏液膜受到破壞,不能得到光亮表面。另外,隨著拋光液中水含量的增加,溶液中酸的濃度被稀釋,減緩了酸對金屬銅的腐蝕作用,造成銅片的溶解減小。
圖2-5 流酸濃度對銅片失重和反射率的影響
圖2-6 硝酸濃度對銅片失重和反射率的影響
FH-1是一種無機光亮劑,它的濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-8。結果表明,金屬的失重隨FH-1濃度有輕微的變化。這表明 FH-1主要起光亮和平整作用。當FH-1濃度逐漸增大時,銅片的光亮度逐漸增大,在5%時,光亮度達比較大值。但當FH-1濃度繼續升高時,它開始加速金屬的腐蝕,造成銅表面的光亮度下降。因此,FH-1濃度操控在4%~5%較為適宜。
圖2-7 拋光液中水的含童對銅片失重和反射率的影響
圖2-8 FH-1的濃度對銅片失重和反射率的影響
FH-2是一種有機緩蝕劑,它的濃度對銅片失重和反射率的影響曲線示于圖2-9。由圖2-9可見,一方面,FH-2具有緩蝕作用,隨FH-2濃度的增大,金屬的失重量逐漸減小。同時,FH-2又具有光亮作用,在0.4g/L~0.6g /L時,光亮度比較高。FH-2這兩種作用可歸結為其在金屬表面的吸附而壓制了銅基體的迅速溶解,避免了金屬表面過腐蝕的發生。當其濃度較低時,由于不能完全覆蓋在金屬表面,影響了它的緩蝕和增光作用的發揮。當FH-2的含量在0.4g/L以上時,它在銅表面的吸附已飽和,使金屬的光亮度趨于穩定值。
圖2-9 FH-2的濃度對銅片失重和反射率的影響